Vuonna 2019 M12 (210 mm x 210 mm) p-tyypin monokiekkoja (halkaisijaltaan 295 mm piin harkko) ylistettiin. M12: n ja M6: n oletetaan sijoittavan 6 tuuman M2-koko (156,75 mm x 156,75 mm).
1 Materiaalin ominaisuudet
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Kasvumenetelmä | CZ | |
Kiteisyys | Monikiteinen | Etuuskäyttötekniikat（ASTM F47-88） |
Johtokyvyn tyyppi | P-tyyppi | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Boori, gallium | - |
Happipitoisuus [Oi] | ≦8E+17 at / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Hiilipitoisuus [Cs] | ≦5E+16 at / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch-kuopan tiheys (sijoittelutiheys) | ≦500 cm-3 | Etuuskäyttötekniikat（ASTM F47-88） |
Pinnan suunta | &; 100> ± 3 ° | Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987) |
Pseudo-neliön sivujen suunta | & 010> ;,&001> ± 3 ° | Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987) |
2 Sähköiset ominaisuudet
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Resistiivisyys | 0,5-1,5 Ωcm | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
MCLT (vähemmistöoperaattorin käyttöikä) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (injektiotasolla: 1E15 cm-3) |
3Geometria
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Geometria | Koko neliö | |
Vohveli Sivun pituus | 210 ± 0,25 mm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Kiekkojen halkaisija | φ295 ± 0,25 mm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Kulma vierekkäisten sivujen välillä | 90° ± 0.2° | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Paksuus | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
TTV (kokonaispaksuuden vaihtelu) | ≤27 µm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
4 Pinnan ominaisuudet
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Leikkausmenetelmä | DW | -- |
Pinnan laatu | leikattuina ja puhdistettuina, ei näkyvää kontaminaatiota (öljy- tai rasva-, sormenjäljet, saippua-, liete-, epoksi- / liimapinnat eivät ole sallittuja) | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Sahamerkit / askelmat | ≤ 15µm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Keula | ≤ 40 µm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Loimi | ≤ 40 µm | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Siru | syvyys ≤0,3 mm ja pituus ≤ 0,5 mm Max 2 / kpl; ei V-sirua | Paljaat silmät tai kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Mikrohalkeamat / reiät | Ei sallittu | kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Suositut Tagit: p type m12 monikiteinen aurinkokiekko, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, valmistettu Kiinassa
