Metalliavusteinen kemiallinen etsaus (MACE) on äskettäin kehitetty anisotrooppinen märkäetsausmenetelmä, joka pystyy tuottamaan korkean kuvasuhteen puolijohde-nanorakenteita kuvioidusta metallikalvosta.
Hyvin hyväksytyssä MACE - prosessia kuvaavassa mallissahapetinon edullista pelkistäämetallikatalyyttija reikiä (h +) ruiskutetaan metallikatalyytistä Si: hen tai elektronit (e−) siirretään Si: stä metallikatalyyttiin. Si metallimetallikatalyytin alla on suurinreikien pitoisuus, Siksihapettuminenja Si: n liukeneminen tapahtuu ensisijaisesti metallikatalyytin alla.
Aurinkoenergian muuntotehokkuuden havaitaan lisääntyvän, kun SiNWskorkea kuvasuhdekäytetään hämärän säteilytyksen pinnalla.
1 Pinnan kunto
Parametri | Prosessi | Heijastus |
Etupuoli | ||
Pinnan kunto | Metalli Avustettu kemiallinen syövytys | Matala |
Takapuoli | ||
Pinnan kunto | Kiillotettu tai kuvioitu | Korkea tai matala |
2 Materiaalin ominaisuudet
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Kasvumenetelmä | suuntainen jähmettyminen | XRD |
Kiteisyys | monikiteinen | Etuuskäyttötekniikat（ASTM F47-88） |
Johtokyvyn tyyppi | P-tyyppi | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Boori | - |
Happipitoisuus [Oi] | ≦1E+17 at / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Hiilipitoisuus [Cs] | ≦1E+18 at / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Sähköiset ominaisuudet
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Resistiivisyys | 0,5-2 Ωcm (hehkutuksen jälkeen) | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
MCLT (vähemmistöoperaattorin käyttöikä) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 Geometria
Omaisuus | Erittely | Tarkastusmenetelmä |
Geometria | Neliö tai suorakulmio | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Viistoreunan muoto | Linja | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Vohvelikoko (Sivun pituus * sivun pituus) | 156mm * 156mm 157 mm * 186 mm 166 mm * 166 mm | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Kulma vierekkäisten sivujen välillä | 90±3° | Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Suositut Tagit: musta piipinta p-tyyppinen monikiteinen aurinkokiekko sisältäen 166mm * 166mm, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, valmistettu Kiinassa
