P Tyyppi M4 Yksikiteinen aurinkokiekko

Kasvumenetelmä

Cz

Kiteytyminen

Yksikiteinen

Etuoikeutetut etskutekniikat（ASTM F47-88）

Johtavuuden tyyppi

P-tyyppi

Napson EC-80TPN

P/N-näppäily

Dopant-niminen

Boori, Gallium

-

Happipitoisuus[Oi]

≦8E+17 at/cm³

FTIR (ASTM F121-83)

Hiilipitoisuus[Cs]

≦5E+16 at/cm³

FTIR (ASTM F123-91)

Etskukuopan tiheys (sijoiltaan jätkemisen tiheys)

≦500 cm^-3

Etuoikeutetut etskutekniikat（ASTM F47-88）

Pinnan suunta

<100>±3°

Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987)

Näennäisen neliönmuotoinen suunta

<010>,<001>±3°

Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987)

Resistenssi

0.5-1.5 Ωcm

Kiekkojen tarkastusjärjestelmä

MCLT (vähemmistökuljetusliikkeen elinikä)

≧50 μs

Sinton BCT-400

(injektiotasolla: 1E15 Cm^-3)

geometria

Quasi-neliö

Kiekon sivupituus

161,7±0,25 mm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

Kiekon halkaisija

φ221±0,25 mm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

Vierekkäisten sivujen välinen kulma

90° ± 0,2°

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

paksuus

180﹢20/﹣10 μm;

170﹢20/﹣10 μm

TTV (Kokonaispaksuuden vaihtelu)

≤27 μm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

Leikkuumenetelmä

Dw

--

Pinnan laatu

leikattuna ja puhdistettuna, ei näkyvää kontaminaatiota (öljy tai rasva, sormenjäljet, saippuatahrat, lietetahrat, epoksi-/liimatahrat eivät ole sallittuja)

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

Sahan merkit / askeleet

≤ 15 μm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

jousi

≤ 40 μm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

loimi

≤ 40 μm

kiekkojen tarkastusjärjestelmä

siru

syvyys ≤0,3 mm ja pituus ≤ 0,5 mm Max 2/kpl;   ei V-sirua

Paljaat silmät tai kiekkojen tarkastusjärjestelmä

Mikro halkeamat / reiät

Ei sallittu

kiekkojen tarkastusjärjestelmä