Tämä spesifikaatio määrittelee N-tyyppisen monokiteisen piikiekon (koko M10) edistyneille aurinkokennoille. Czochralski -menetelmän avulla fosforin seostuksella, kiekkoissa on alhainen happipitoisuus (enintään 8E17 at/cm³), vähähiilipitoisuus (enintään 5E16/cm³), syövytysten tiheys jopa 500 cm⁻² ja tarkan pintakehityksen 3 asteen kolmen asteen sisällä<100>.
Tärkeimpiä sähköominaisuuksia ovat resistiivisyysalue 1,0 - 7,0 ω.cm ja korkea vähemmistökantajan elinaika (vähintään 1000 μs).
Kelloilla on optimoitu pseudo-neliögeometria, jonka sivupituus on 182 mm (toleranssi 0,25 mm), halkaisija 247 mm (toleranssi 0,25 mm) ja vierekkäiset sivut 90 asteessa (toleranssi 0,2 astetta). Saatavana paksuuksina 150 - 180 μm (toleranssien kanssa), ne takaavat minimaalisen paksuuden vaihtelun (TTV -maksimiarvo 27 μm). Pinnan laatua on tiukasti kontrolloitu ("leikatulla ja puhdistetulla"), kielletty kontaminaatio ja mikrohalkaiset, rajat sahalakkeille (korkeintaan 15 μm), keula ja loimi (enintään 40 μm). Tämä suuri muoto tukee alan siirtymistä kohti optimoitua valon sieppausta.
1. Materiaalin ominaisuudet
|
Omaisuus |
Eritelmä |
Tarkastusmenetelmä |
|
Kasvumenetelmä |
Cz |
|
|
Kiteisyys |
Monokiteinen |
Suositeltavat etsaustekniikat(ASTM F47-88) |
|
Johtavuustyyppi |
N-tyyppi |
Napson EC-80TPN |
|
Viiva |
Fosfori |
- |
|
Happipitoisuus [OI] |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin8e +17 at/cm3 |
FTIR (ASTM F121-83) |
|
Hiilipitoisuus [CS] |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin5e +16 at/cm3 |
FTIR (ASTM F123-91) |
|
ETCH PIT -tiheys (dislokaatiotiheys) |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin500 cm-2 |
Suositeltavat etsaustekniikat(ASTM F47-88) |
|
Pintasuunta |
<100>± 3 astetta |
Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987) |
|
Pseudo -neliöpuolen suunta |
<010>,<001>± 3 astetta |
Röntgendiffraktiomenetelmä (ASTM F26-1987) |
2. Sektriset ominaisuudet
|
Omaisuus |
Eritelmä |
Tarkastusmenetelmä |
|
Vastustuskyky |
1,0-7,0 ω.cm
|
Kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
MCLT (vähemmistökantajan elinikä) |
Suurempi tai yhtä suuri kuin 1000 µ |
Sinton BCT-400
Ohimenevä
(Injektiotasolla: 5E14 cm-3)
|
3.Geometria
|
Omaisuus |
Eritelmä |
Tarkastusmenetelmä |
|
Geometria |
pseudo -aukio |
|
|
Viistereunan muoto
|
pyöristää | |
|
Kiekon sivupituus |
182 ± 0,25 mm
|
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Kiekkojen halkaisija |
φ247 ± 0,25 mm |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Viereisten sivujen välinen kulma |
90 astetta ± 0,2 astetta |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Paksuus |
180 ﹢ 20/﹣10 µm
175﹢ 20/﹣10 µm
170﹢ 20/﹣10 µm
165﹢ 20/﹣10 µm
160﹢ 20/﹣10 µm
150﹢ 10/﹣10 µm
|
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
TTV (kokonaispaksuuden variaatio) |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin 27 µm |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
4.Pintaominaisuudet
|
Omaisuus |
Eritelmä |
Tarkastusmenetelmä |
|
Leikkausmenetelmä |
Dw |
-- |
|
Pinnan laatu |
Leikkauksena ja puhdistetulla tavalla ei ole näkyvää saastumista (öljy tai rasva, sormenjäljet, saippua tahrat, lietteiset tahrat, epoksi-/liima -tahrat eivät ole sallittuja) |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Sahamerkit / askelet |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin 15 um |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Keula |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin 40 µm |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Loimi |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin 40 µm |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Siru |
syvyys pienempi tai yhtä suuri kuin 0,3 mm ja pituus pienempi tai yhtä suuri kuin 0,5 mm: n enimmäismäärä 2/kp; Ei V-sirua |
Alasti silmät tai kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
|
Mikrohalkeamat / reikät |
Ei sallittua |
kiekkojen tarkastusjärjestelmä |
Suositut Tagit: N-tyypin M10 monokiteinen piikiekko-eritelmä, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, valmistettu Kiinassa
