Tuotteen esittely
Materiaaliominaisuudet
Parametri | Ominainen | ASTM -ohjausmenetelmä |
Tyyppi/lisäys | P, boori N, fosfori N, antimon N, arseeni | F42 |
Suuntaus | <100>, <111>Viipaloi suuntautumiset asiakkaan eritelmät | F26 |
Happipitoisuus | 1019 PPMA -räätälöity toleranssit asiakkaan määrittelyä kohti | F121 |
Hiilipitoisuus | < 0.6 ppmA | F123 |
Resistiivisyysalueet, boron-n, fosfori-n, antimonon, arseeni | 0.001 - 50 ohm cm | F84 |
Mekaaniset ominaisuudet
Parametri | Pää- | Seuraa/ testi a | Testata | ASTM -menetelmä |
Halkaisija | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm | F613 |
Paksuus | 725 ± 20 um (standardi) | 725 ± 25 um (standardi) 450 ± 25 um 625 ± 25 um 1000 ± 25 um 1300 ± 25 um 1500 ± 25 um | 725 ± 50 um (standardi) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Keula | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Kääriä | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Reunan pyöristäminen | Puolivälissä | F928 | ||
Merkintä | Vain ensisijainen puoliksi liitetty, puoliksi std flats jeida litteä, lovi | F26, F671 | ||
Pinnan laatu
Parametri | Pää- | Seuraa/ testi a | Testata | ASTM -menetelmä |
Etupuolen kriteerit | ||||
Pintatila | Kemiallinen mekaaninen kiillotettu | Kemiallinen mekaaninen kiillotettu | Kemiallinen mekaaninen kiillotettu | F523 |
Pinnan karheus | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Utu, kaivot, oranssi kuori | Ei yhtään | Ei yhtään | Ei yhtään | F523 |
Sahamerkit, striations | Ei yhtään | Ei yhtään | Ei yhtään | F523 |
Takapuolen kriteerit | ||||
Halkeamat, varkkakorut, sahamerkit, tahrat | Ei yhtään | Ei yhtään | Ei yhtään | F523 |
Pintatila | Syövytetty | F523 | ||
Tuotekuvaus
Täydellinen mikrofluidisovelluksiin . mikroelektroniikka- tai MEMS -sovelluksille, ota meihin yhteyttä saadaksesi yksityiskohtaiset tiedot .
Mikroelektroniikan tuoteviiva sisältää sekä yhden puolen kiillotettujen (SSP) että kaksoispuolisten kiillotettujen (DSP) kiekko -substraattien . kaksoispuolen kiillotettuja kiekkoja vaaditaan tyypillisesti puolijohde-, MEMS- ja muihin sovelluksiin, joissa kiekkoja, joilla on tiukasti ohjattuja tasaisuusominaisuuksia, vaaditaan ..
Kaikissa kiekkojen halkaisijissa olevien kiilto -kiillotettujen kiiltojen kiiltoisten kiiltojen suuri varastossa on 100–300 mm ., jos määritelmääsi ei ole saatavana inventaarioissamme, olemme luoneet pitkäaikaisia suhteita lukuisiin myyjiin, jotka pystyvät mukautetuihin kiekkoihin sopiviin ainutlaatuisiin eritelmiin . kaksoispuoleisia kiillotettuja kiekkoja, jotka ovat yleisesti käytettävissä olevia kiiltoja Teollisuus .
Räätälöity kuutio ja kiillotus on myös saatava vaatimusten . mukaisesti, ota rohkeasti yhteyttä .
Tuoteominaisuudet
· 8 "p/n -tyyppi, kiillotettu piikiekko (25 kpl)
· Suuntaus: 200
· Resistiivisyys: 0.1 - 40 ohm • cm (se voi vaihdella erästä eräksi)
· Paksuus: 725+/-20 um
· Prime/Monitor/Test -luokka
Suositut Tagit: 8 tuuman (200 mm) kiekko, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, valmistettu Kiinassa
